一心一意只为干好离子注入装备｜产品文化

小备说：为深入贯彻落实电科装备2024年度工作会议及全面从严治党工作会议精神，进一步提升品牌影响力，凝聚起履行强军首责、支撑高水平科技自立自强的磅礴力量，现特开展电科装备企业文化故事展播，以文化软实力赋能高质量融合发展。

穿过电科装备旗下北京烁科中科信（简称“烁科中科信”）制造中心的风淋系统，一条高水平、智能化的离子注入机产线映入眼帘：一排排模组整齐排列，不同工种的工程师密切配合，有条不紊，生产出一台台高品质的离子注入装备。

“离子注入技术是一种将离子注入半导体材料的先进工艺，对提高芯片性能、减小制程尺寸具有重要意义，离子注入机正是执行该关键环节的设备。”烁科中科信党支部书记、总经理李进表示，作为集成电路高端装备，离子注入机的研制具有研发投入大、技术门槛高、多学科融合等特点。“它的工作原理是通过电磁场控制高速运动的离子，按照工艺要求的角度、深度，精准完成注入。”李进打了个比方，其难度不亚于以飞机飞行的速度完成一次侧方位停车。

从研制初期毫无经验可循，到如今实现离子注入装备28纳米工艺制程全覆盖，团队成员用二十余年，不断攀登离子注入机研发的制高点。

根据束流大小及应用工艺的不同，离子注入机分为中束流、大束流及高能离子注入机等。“中束流离子注入机是公司最先研制的产品，成熟度高、工艺数据丰富。2019年，我们成功研制出芯片制造中需求量最高、研制难度高、可变量更多的大束流离子注入机，但我们并未止步于此。”李进表示。

设备虽有，如何实现从有用、能用到好用的转变？一场与时间赛跑、与效率较量的“赛事”正式开启，大束流设备是这场赛事的“选手”，而创新是制胜的关键。

“设备要保持尽可能久的在线时间，保障高品质束流和高效率注片速率，关键是要又快又好地实现注入。”这意味着两万五千多个硬件要7×24小时密切配合，软件系统要保持高速运转，让束流时刻保持在特定的高能量，精准注入硅片的指定区域，不能有一丝卡顿……

想跑出好成绩，必须得有强健的硬件“好身体”。

要对硬件深度升级！团队自主开发了离子源，大幅降低了设备宕机风险。同时，对运动部件进行升级改造，具备机械传输效率更高、灵敏度更高、传片效率更高等优势，实现长寿命与高离子质量兼具。

如果说硬件是设备的“身体”，那算法就是它的“灵魂”。没有优秀的算法，即使再高端的硬件也无法高效运行。

开发自动引束算法，团队实现了设备自动操作引束，自行控制调整束流品质，大幅提升引束效率，让“起跑”更有力。升级剂量控制算法，团队开发了多方位注入功能，实现了靶台上下换方位注入，使设备具备更小剂量的注入能力，让速度持续提升。梳理运动控制算法，团队系统梳理整个运动控制算法中的串联流程，做到应并尽并，让每个部件调动更加协调，时间安排更加合理，运动衔接更加流畅，让“步幅”更大更稳。 在团队的努力下，离子注入机设备喜讯频传：设备UP time（设备在线时间）提高70%，WPH（每小时注片量）大幅提升，置换率达到国际先进水平，产线累计跑货量超70万片，多项大束流机台关键技术取得了突破性进展……

“创新决定未来，唯有创新才能抢占先机。”在团队成员眼里，只有不断创新，才能开启制胜之门。面向未来，他们将继续坚持创新引领，全面实现离子注入装备自立自强。