离子注入机形成适应不同温度段全系列产品格局！ | 装备名片

离子注入机是通过对半导体材料表面进行某种元素的离子注入掺杂，从而改变其特性的设备，芯片的性能、稳定性、良品率及寿命都和离子注入这一工序密切相关。北京烁科中科信打通了从技术研发、产品定型到批量生产的离子注入机产业化通道，实现了从单台设备集成到全系列产品布局的跨越，产品线覆盖中束流、大束流、高能机、特种、化合物半导体等，已实现全系列离子注入装备28纳米工艺制程全覆盖，形成了包括低温、常温、高温不同温度段注入的全系列离子注入机产品格局，具备生产逻辑、存储、功率器件、传感器等工艺器件的能力，切实保障产业链、供应链的韧性和稳定。